クリーンルームの規格と清浄度

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クリーンルームの規格と清浄度

 

バイオクリーンルームのNASA規格要旨(NHB-5340-2)

級別 塵埃粒子 微生物粒子
粒径 累積粒子数 浮遊量 沈降量
μm 個/ft3 個/㎥ 個/ft3 個/㎥ 個/ft3週 個/㎥週
100 ≧0.5 100 3,500 0.1 3.5 1,200 12,900
10,000 ≧0.5
≧5.0
10,000
65
350,000
2,300
0.5 17.6 6,000 64,600
100,000 ≧0.5
≧5.0
100,000
700
2,500,000
25,000
2.5 88.4 30,000 323,000

 

業種別クリーン度

業種 内容 工程 クラス(クリーン度)
100 1000 10000 100000
工場 電子機器 磁気テープ、小型リレー、プリント板、精密計器 製造
組立
半導体 マスク合わせ、エッチング蒸着、研磨、精製、拡散 製造
梱包
精密機器 ベアリング、時計、印刷、カメラ、レンズ、フィルム 加工・製造
組立
食品工場 製パン、製菓、製めん 食パン、カステラ、もち、あん、和菓子、ゆで生めん、インスタントラーメン 冷却・包装
製造
食肉・魚肉加工 ハム、ソーセージ、ちくわ、かまぼこ、冷凍パック 冷却・梱包
加工
調理、総菜 豆腐、納豆、煮物、弁当 冷却・梱包
加工
液状、ペースト食品 ジャム、クリーム、チョコレートシロップ、ゼリー 充填・包装
加工・製造
醸造品 みそ、しょうゆ、酒、ビール 充填・包装
仕込み
乳製品 牛乳、プリン、アイスクリーム、チーズ、バター 充填・包装
仕込み
試験室 検査・分析
農林畜産 きのこ、植物、養殖 種菌
栽培

 

自然環境の塵埃濃度

場所・状況 塵埃濃度 個/ft3 ≧
成層圏 ≦100
農村地帯(雨上がり・無風) 100,000~300,000
住宅地 1,000,000~
就業中の事務所 2,000,000~5,000,000
工場地帯 5,000,000~10,000,000
喫煙を行う会議室 10,000,000~

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